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適用製品	主な適用可能素材		その他の適用可能コーティング
真空チャック	Sintered SiC (SiC or S-SiC)		CVD of DLC CVD of Ti/TiN Sputtering of various metals Teflon
	Reaction Bonded SiC (Si-SiC)	(オプション : 50% SiC, 75% SiC, 90% SiC)
	Bulk Al2O3	(オプション : White, Black)
	Si3N4
	Porous Ceramics	(オプション：気孔率、気孔サイズおよび表面抵抗の多様な仕様に対応可能)
	Others	Bulk CVD SiC Quartz / Zerodur Al-SiC MMC (オプション : 30% SiC, 70% SiC) ZrO2 Al2O3 Coating (APS) (オプション : White, Black)
ESC	Al2O3 Plate	Coulomb type (Black) JR type (White)
	Al2O3 Coating (APS)	Coulomb type (Black) JR type (White)
	AlN Plate	JR type
	Polymer Ceramics Coating	JR type
GDP	Bulk CVD SiC	(オプション : High resistivity, Low resistivity)
GDP	Bulk Y2O3
セラミックヒーター	AlN Plate

Properties		Unit	SiC	Si-SiC 50%	Si-SiC 70%	Black Al2O3	Si3N4	Al2O3 99.5%
Main component purity		wt%	98	SiC 50% Si 30%	SiC 70% Si 30%	92	90	99.5%
Color		-	Black	Dark Grey	Dark Grey	Black	Gray	Ivory
Density		g/㎤	3.15	2.8	3.0	4.05	3.16	3.9
Water Absorption		%	0	0	0	0	0	0
Bending strength		MPa	490	300	400	324	750	360
Young’s modulus		GPa	450	280	410	340	285	370
Vickers Hardness		GPa	25	20	21	14	16	16
Coefficient of Thermal Expansion(RT)		1/K (×10⁻⁶)	3.9	4.0	3.8	8.65	2.7	7.7
Thermal Conductivity		W/m·K	155	175	192	-	23	32
Thermal Shock Resistance		∆T (K)	>300	>300	>300	-	700	250
Volume Resistivity	25℃	Ω • cm	10⁵	10^-2	10^-2	10⁸	10¹⁴	10¹⁵
Reflectance	wavelength 360nm	%	-	-	-	<7	-	-
主素材選定理由			ESDに適した抵抗値と高い硬度（耐摩耗性）	SiCより軽量で電気伝導性を有する	SiCより軽量で電気伝導性を有する	ESDに適した抵抗値、低反射率、大面積対応可能	高圧・高温下でも変形が少ない	加工性に優れるコストが低い
			光学装置に適した暗色					光学装置用途以外の場合は別仕様