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技術で革新、
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OUR DIFFERENCES

明日を変える新素材
精密技術の基準

技術革新で創る新たな価値、
お客様とともに成長する製造企業

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静電チャック・真空チャック
技術のリーダーシップ

最先端の半導体製造プロセスで求められる技術基盤に基づき、グローバル市場に信頼される核心ソリューションを提供します。

革新的な素材技術で切り開く未来製造

次世代素材技術と精密エンジニアリングを結合し、当社ならではの新たな価値と競争力をお届けします。

お客様に最適化したエンジニアリングパートナー

お客様のニーズを分析したカスタム設計・製造技術により、最適な性能と生産性を実現するパートナーを目指します。

OUR SOLUTIONS

最適な精度で
カスタムソリューションを提供

素材技術

プロセス環境と用途に最適化した高機能セラミック材料を設計・適用します。

加工技術

高難度形状と極限公差に対応する精密加工技術を保有しています。

分析・設計技術

解析に基づく設計と精密分析により、性能と信頼性を事前に検証します。

精密セラミック技術・精巧製造

Fセラミック基盤の先端精密部品を、設計から製作・検証まで One-Stopで提供し、
お客様カスタマイズの高難度形状を実現する技術力を保有しています。

OUR PRODUCTS

先端製造の基準を変える
精巧なソリューション

フォトチャックは、光を用いて回路パターンをウェハに転写するフォトリソグラフィ工程において、主に真空圧で基板を固定する部品です、半導体用途では‥

フォトチャック

真空チャックは、真空圧によって基板を固定する部品です、当社が主に取り扱うセラミック製真空チャックは、検査・計測装置およびハイブリッドボンディ‥

真空チャック

ESCは、静電気の力を利用して基板を固定する部品です。当社が主に供給するセラミック製ESCは、CVD、PVD、イオン注入などの半導体エッチ関‥

ESC
GDP

GDPはGas Distribution Plateの略で、シャワーヘッド(Showerhead)やカソード(Cathode)とも呼ばれる、‥

GDP

セラミックヒーターは、適切なプロセス温度を得るために基板を加熱する部品部品です。 当社が主に取り扱うセラミックヒーターは、主に半導体CVD工‥

セラミックヒータ

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