真空吸盘
真空吸盘（Vacuum Chuck）是通过真空压力固定基板的部件，我司主要经营的陶瓷真空吸盘用于检测/测量设备以及混合封装（Hybrid Bonding）设备。
主要材料包括 S-SiC、Si-SiC、Si₃N₄、Al₂O₃，并可根据设备所需性能灵活选用多种材料。
我司主要与设备厂商紧密协作，从符合设备需求的 真空吸盘设计与开发阶段开始推进。
基于丰富的设计经验，可应用于包括平坦度（Flatness）优化设计、对应晶圆翘曲（Wafer Warpage）的结构设计，以及装配变形最小化方式等多种真空吸盘相关技术经验。
可供应类型
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项目 |
主要供应类型 |
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使用工艺 |
•半导体检测及计量工艺
•Hybrid Bonding 工艺
•晶圆 / 芯片研磨 / 抛光工艺
•部分常压 / 准常压 CVD 工艺
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主要材料 |
SiC、Si-SiC、Si₃N₄、Al₂O₃、多孔陶瓷 等 |
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产品类型 |
•图案：针型、环型、Anti-Wrap 型 等
•形态：图案吸盘、多孔吸盘
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主要供应等级
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Level |
说明 |
制造工艺（标准） |
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新品 |
All New |
SiC 粉末 → 成型 →（绿体加工 →）烧结 → 形状加工 →（粗磨 →）图案加工 → 研磨 / 抛光 & 工艺检验 → 最终检验 → 清洗 + 组装 + 包装 |
产品工艺流程
产品图片
SiC, Pin&Ring Pattern
SiC, Pin&Ring Pattern (Anti-Warp.)
SiC, Pin&Ring Pattern (Anti-Warp.)
SiC, Pin&Groove Pattern
Porous Al2O3 Non-patterned (Flat)