陶瓷加热器是为获得适当工艺温度而对基板进行加热的部件，本公司主要提供的陶瓷加热器主要应用于半导体 CVD 工艺。 主要材料为 AlN，本公司主要支持寿命到期陶瓷加热器的维修、备用用新品制作，或为‥

GDP 是 Gas Distribution Plate 的缩写，亦被称为 Showerhead、Cathode。 其作用是将工艺 Gas 均匀分布的关键部件，本公司主要提供的 CVD GDP ‥

ESC 是利用静电力固定基板的部件，本公司主要提供的陶瓷 ESC 主要应用于半导体 Etch 用的 CVD、PVD、Implant 工艺，以及显示器用的 Laser Cutting、OLEDoS ‥

真空吸盘（Vacuum Chuck）是通过真空压力固定基板的部件，我司主要经营的陶瓷真空吸盘用于检测/测量设备以及混合封装（Hybrid Bonding）设备。 主要材料包括 S-SiC、S‥