ESC
ESC는 정전기를 이용하여 기판를 고정하는 부품이며, 당사가 주로 취급하는 세라믹 ESC은 주로 반도체 Etch용 CVD, PVD, Implant 및 Display용 Laser Cutting, OLEDoS deposition 공정에 쓰입니다.
주요 소재는 AlN, Al2O3, Composite ceramic 이며, 당사는 주로 수명이 다한 ESC에 대한 수리나 스페어용 신품 제작, 혹은 장비 개조 혹은 이슈 개선을 위한 형상/구조/패턴 Modification을 지원합니다.
공급 가능 TYPE
|
항목 |
주요 공급 타입 |
|
사용 공정 |
•반도체용 Etch용
CVD, PVD, Implant, TSV/Plasma dicing
•Display용
OELD Laser
Cutting, OLEDoS
deposition
|
|
주요 재질 |
AlN Plate, Al2O3 Plate, Al2O3 Coating |
|
제품 타입 |
•척킹 매커니즘
: 쿨롱
타입, JR 타입
|
주요 공급 LEVEL
|
Level |
설명 |
제작 공정 (표준) |
|
L1 |
Surface Treatment |
입고검사 → (그라인딩/래핑/폴리싱 →) 패터닝 → 최종검사 → 세정+조립+포장 |
|
L2 |
L1+Re-bonding |
입고검사 → 디본딩 → Used Plate 본딩 → L1 공정 |
|
L3 |
L2+New dielectric layer |
입고검사 → 디본딩 → (Used Plate 본딩 → dielectric layer 그라인딩 →) New dielectric layer 본딩 →L1 공정 |
|
L4 |
L3+New Heater layer |
입고검사 → 디본딩 → (개별 히터층본딩 →) New Plate 본딩 →L1 공정 |
|
신품 |
All New |
Plate 제작 → 형상가공 → Terminal 접합 (브레이징/납땜 등) → (개별 히터층본딩 →) New Plate 본딩 →L1 공정 |
제품 Process
제품 Image
